Please use this identifier to cite or link to this item:
https://ptsldigital.ukm.my/jspui/handle/123456789/515041| Title: | Pam mikro terma pneumatik dengan aktuator membran filem nipis polimid untuk kegunaan bioperubatan |
| Authors: | Norihan Abdul Hamid (P52765) |
| Supervisor: | Burhanuddin Yeop Majlis, Prof. Dato' Dr. |
| Keywords: | Peranti mikro Membran filem nipis Pengangkutan bendalir |
| Issue Date: | 26-Nov-2014 |
| Description: | Pam mikro terma pneumatik adalah peranti mikro yang kini digunakan dalam BioMEMS yang mana pengangkutan cecair dan dos yang tepat boleh diperolehi. Pada asasnya, pam mikro terma pneumatik adalah pengecilan peranti elektromekanik yang menggunakan konsep pengembangan terma untuk menggerakkan membran filem nipis bagi tujuan mengepam. Isu-isu yang timbul ketika digunakan untuk mengangkut bendalir dalam sistem penghantaran ubat-ubatan adalah pengecilan komponen, keboleharapan, jangka hayat, masalah sumbatan dan keserasian bio. Dengan mengurangkan ketebalan membran ia akan meningkatkan kemampuan pesongan. Walau bagaimanapun pertimbangan geometri dalam sistem pam mikro yang kecil mungkin mempengaruhi ciri-ciri pengangkutan bendalir. Bahagian yang penting dalam pembangunan pam mikro terma pneumatik adalah fabrikasi filem nipis membran sebagai aktuator menggunakan kos yang rendah, mudah dan teknik MEMS yang boleh diulang-ulang. Dengan mengurangkan ketebalan membran, ia akan meningkatkan keupayaan pesongan aktuator. Ditambah pula pertimbangan geometri sistem pam mikro pada skala kecil mempunyai pengaruh yang cukup untuk pencirian pengangkutan cecair. Oleh itu di dalam tesis ini reka bentuk dan teknologi fabrikasi pam mikro terma pneumatik dengan menjadikan membran berasaskan polimid sebagai tujuan pergerakan dibentangkan. Sistem pam terdiri daripada tiga komponen asas termasuk pemanas mikro, membran filem nipis dengan ruang pemanas dan elemen satah peresap/muncung. Pembangunan pam termasuklah merekabentuk, memfabrikasi, pengukuran dan pengujian. Teknik pemesinan mikro permukaan dan pukal digunakan untuk fabrikasi pemanas mikro dan membran filem nipis, manakala elemen satah peresap/muncung menggunakan teknik acuan replika. Teknik nyahcas korona dilaksanakan untuk mencegah kebocoran cecair pada bahagian mikro bendalir. Tiga komponen pam mikro kemudiannya digabungkan bersama-sama menggunakan teknik pelekatan. Ujian fungsi kemudiannya dilakukan ke atas pam mikro dengan membekalkan voltan DC kepada pemanas mikro dan pesongan membran untuk memindahkan bendalir dari satu bekas simpanan kepada sistem bendalir yang lain diperhatikan. Hasilnya, rintangan paling rendah pemanas mikro sebanyak 50.8 Ω dapat dicapai dengan suhu maksimum 121°C. Manakala pesongan maksimum membran polimid yang berketebalan 3-4 μm adalah kira-kira 65 μm untuk ruang suhu yang meningkat sehingga tidak lebih daripada 65 oC. Ujian kefungsian bagi keseluruhan sistem pam mikro menunjukkan bahawa kadar aliran maksimum sehingga 12.5 nL /min dapat dicapai untuk Voltan masukan 12 Vdc dan kuasa aktuator sebanyak 416.3 mW.,Ph.D. |
| Pages: | 251 |
| Publisher: | UKM, Bangi |
| Appears in Collections: | Institute of Microengineering and Nanoelectronics / Institut Kejuruteraan Mikro dan Nanoelektronik (IMEN) |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| ukmvital_80064+SOURCE1+SOURCE1.0.PDF Restricted Access | 8.85 MB | Adobe PDF |  View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.